主要用途
JCL-SZP全數字化中頻磁控濺射電源適用于中頻孿生靶磁控濺射金屬和非金屬材料。本電源能增加離化率，減小電荷積累，預防靶表面中毒現象。特別適用于反應磁控濺射鍍制ITO膜、介質膜、絕緣保護膜。
主要特點
1、 采用高頻轉換技術，高效節能、反應迅速，雙級脈沖方波輸出，占空比20%—80%連續可調，脈沖頻率 20—40KHZ連續可調，具有恒壓、恒流、恒功率工作模式，適應各類特殊工藝要求，可實現雙靶濺射，具有優異的滅弧性能。
2、 全數字化控制、精度高、重復性好；配有控制面板和控制程序，根據工藝要求設定工藝參數實現近地控制和遠程控制（配有通訊接口）。
3、 空載電壓：1200V-1300V，工作電壓：200V-800V
4、 電源功率：20KW、 30KW 、40KW 、60KW、 80KW 、 100KW
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傳真：13658068539 
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